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三甲基硅烷气体密度是多少

2024-07-07 化工产品网

三甲基硅烷是一种有机硅化合物,其化学式为Si(CH3)3H。在常温下,三甲基硅烷呈气态,它的密度约为1.64 kg/m³。

三甲基硅烷是一种无色、无味、易挥发的气体,具有良好的化学稳定性和热稳定性。由于其化学性质的特殊性,三甲基硅烷在半导体、化工、医药等领域得到广泛应用。

在半导体制造过程中,三甲基硅烷常用作化学气相沉积(CVD)的前体气体,可用于生长硅氧化物薄膜。此外,三甲基硅烷还可以用作涂料、粘合剂和防水剂的成分,在化工和建筑材料行业中发挥重要作用。

总之,三甲基硅烷是一种密度较小且具有广泛用途的气体,其在各个领域中的应用前景十分广阔。


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