一甲基三氯硅烷生产工艺是一种重要的有机硅合成工艺。该工艺主要分为三个步骤：氯化反应、缩合反应和脱氯反应。

首先，在氯化反应中，甲基三氯硅烷和氯化氢在催化剂的存在下进行反应，生成一甲基二氯硅烷和三氯化硅。反应条件一般为高温高压，反应温度为60-80℃，反应压力为2-3MPa。

接下来，在缩合反应中，一甲基二氯硅烷和氨水在碱性条件下缩合，生成二甲基二氨基硅烷和氯化钠。反应条件为室温下，pH值为8-9。

最后，在脱氯反应中，二甲基二氨基硅烷和三氯化硅在催化剂的存在下进行反应，生成一甲基三氯硅烷和氯化氢。反应条件为高温高压，反应温度为80-100℃，反应压力为4-5MPa。

以上三个步骤完成后，通过蒸馏和纯化等工艺步骤，可以得到高纯度的一甲基三氯硅烷。该工艺不仅具有高产率和高选择性，而且具有较好的环保性能，是一种重要的有机硅合成工艺。